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台积电获得防护设备以及晶圆盒的承载设备专利利于完成自动化规划

来源:安博电竞登录入口在哪儿    发布时间:2025-03-06 16:00:35

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  金融界2024年12月9日音讯,国家知识产权局信息数据显现,台积电(我国)有限公司获得一项名为“防护设备以及晶圆盒的承载设备”的专利,授权公告号 CN 222112997 U,请求日期为2024年2月。

  专利摘要显现,本请求触及一种防护设备以及晶圆盒的承载设备,防护设备包含基座、防护罩、驱动总成以及动力源。防护罩具有防护腔以及与防护腔连通的开口。驱动总成衔接于防护罩与基座之间,驱动总成包含榜首驱动件,榜首驱动件包含衔接部件以及滚动部件,衔接部件设置有条形引导部,滚动部件设置于防护罩,滚动部件与衔接部件可移动衔接并能够沿条形引导部的延伸方向移动。动力源设置于基座并与驱动总成衔接设置,以驱动榜首驱动件带动防护罩相对基座滚动。该防护设备利于完成自动化规划,且利于进步滚动功率。